Machine de revêtement par pulvérisation photorésistante à ultrasons 120k avec alimentation en liquide externe

Machine de pulvérisation de photorésist par ultrasons 120k avec alimentation externe en liquide

La pulvérisation par atomisation de photorésist est un processus essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs pour un revêtement précis du photorésist. Le principe clé est de transformer le photorésist en minuscules gouttelettes grâce à la technologie d'atomisation, qui sont ensuite déposées uniformément sur la surface de la plaquette, répondant aux exigences de revêtement des plaquettes de grande taille et de haute précision.

Principe de base : Le photorésist liquide est atomisé en gouttelettes uniformes à l'échelle nanométrique à micrométrique à l'aide d'un flux de gaz à haute pression ou de vibrations ultrasoniques.

Les gouttelettes atomisées sont ensuite transportées par un flux de gaz directionnel, formant un revêtement fin et uniforme sur la surface de la plaquette, l'épaisseur étant précisément contrôlée au niveau nanométrique.

Avantages clés : Uniformité de revêtement élevée, évitant les défauts de bord épais et de centre fin du revêtement par centrifugation, répondant aux exigences des processus avancés.

Utilisation élevée du photorésist, réduisant le gaspillage de matériau de plus de 50 % par rapport au revêtement par centrifugation, abaissant les coûts de production.

Convient aux plaquettes de grande taille (par exemple, 12 pouces et plus) et aux topographies de surface complexes, résultant en une meilleure cohérence du revêtement.

Quel est le paramètre de la buse de pulvérisation ?

Avez-vous des photos de la buse de pulvérisation ?

L'atomisation ultrasonique nano utilise l'énergie ultrasonique pour convertir les liquides en particules de taille nanométrique. Elle a des applications étendues dans les domaines médical et industriel. Voici une description détaillée :

Principe
Dans le domaine médical : Un générateur ultrasonique génère généralement un courant à haute fréquence, qui est converti en ondes ultrasoniques par un transducteur ultrasonique. Ce courant agit ensuite sur le liquide via une membrane ultrasonique au fond de l'atomiseur, brisant le médicament en fines particules. Enfin, le flux d'air généré par le dispositif d'alimentation en air transporte la brume médicamenteuse au patient pour inhalation.
Dans le domaine industriel : Une buse ultrasonique convertit les ondes sonores à haute fréquence en énergie mécanique, qui est transférée au liquide, générant des ondes stationnaires. Le liquide est ensuite dirigé à travers la buse vers la surface d'atomisation. En sortant de la surface d'atomisation, le liquide est fragmenté en une brume uniforme de gouttelettes de taille micrométrique, réalisant ainsi l'atomisation.

Caractéristiques
Particules fines et uniformes : Les particules atomisées générées ont généralement un diamètre compris entre 1 et 5 microns, restent en suspension dans l'air pendant de longues périodes et sont relativement uniformément réparties. Dans le domaine médical, cela contribue à assurer une meilleure délivrance dans les voies respiratoires inférieures et les poumons. Dans le domaine industriel, cela permet d'obtenir des revêtements de films minces hautement uniformes à l'échelle submicronique et nanométrique. Haute efficacité et économie d'énergie : Le liquide est transféré à la buse de pulvérisation par gravité ou par une pompe à basse pression, réalisant une atomisation continue ou intermittente. Ce processus est sans colmatage, sans usure, silencieux, sans pression et sans pièces mobiles. Aucun refroidissement par eau n'est requis pour l'atomisation, ce qui entraîne une faible consommation d'énergie.

Matériaux et respect de l'environnement : La pulvérisation non pressurisée et à basse vitesse est facilement contrôlable, et les gouttelettes tombent sur le substrat au lieu de rebondir, réduisant considérablement le dépassement de pulvérisation, économisant ainsi des matériaux et réduisant les émissions environnementales.

Haute contrôlabilité : Le débit d'atomisation précisément contrôlable, la pulvérisation continue à faible débit et les motifs de pulvérisation faciles à contrôler et à façonner le rendent adapté aux applications industrielles. Par combinaison, le volume d'atomisation peut être adapté pour répondre à toutes les exigences de l'utilisateur. Applications
Médical : Par exemple, les dispositifs d'atomisation ultrasonique ophtalmique utilisent cette technologie pour décomposer les médicaments en particules atomisées de taille nanométrique pour le traitement de la sécheresse oculaire et de la blépharite. Cette technologie favorise l'absorption, soulage les symptômes de sécheresse oculaire et améliore la microcirculation périoculaire. En médecine respiratoire, la technologie d'atomisation ultrasonique assistée par nanobulles peut atomiser directement les médicaments et les nanobulles en aérosols fins, augmentant le dépôt dans les poumons et utilisée pour traiter des affections telles que les kystes pulmonaires.

Industriel : Les applications comprennent les piles à combustible, les cellules photovoltaïques à couches minces, les revêtements solaires à couches minces, les cellules solaires à pérovskites, les revêtements de graphène, les revêtements de verre et les circuits électroniques, permettant des revêtements de films minces hautement uniformes à l'échelle submicronique et nanométrique.

Aménagement paysager : Dans les jardins paysagers et les espaces commerciaux, les modules d'atomisation ultrasonique peuvent créer un effet de brume enveloppante, augmentant l'humidité de l'air et améliorant le microclimat intérieur. Ils peuvent également être combinés avec des effets d'éclairage pour créer un spectacle de brume spectaculaire et changeant de couleur.

Comment les buses de pulvérisation ultrasoniques se comparent-elles aux buses de pulvérisation traditionnelles en termes d'efficacité ?
Les buses de pulvérisation ultrasoniques surpassent les buses de pulvérisation traditionnelles en termes d'efficacité globale, en particulier pour les scénarios de revêtement de haute précision comme l'application de photorésist.

Avantages clés en matière d'efficacité des buses de pulvérisation ultrasoniques

Utilisation plus élevée des matériaux : Elles atomisent le photorésist en micro/nanogouttelettes de taille uniforme, réduisant le gaspillage de 30 à 60 % par rapport aux buses traditionnelles (par exemple, à entraînement par pression) qui produisent souvent des gouttelettes inégales ou un dépassement de pulvérisation.
Uniformité de revêtement supérieure : La vibration ultrasonique permet une distribution constante des gouttelettes, minimisant les variations d'épaisseur (généralement dans la plage de ±5 % contre ±10 à 15 % pour les buses traditionnelles), ce qui réduit les retouches et améliore le rendement du processus.
Consommation d'énergie plus faible : L'atomisation ultrasonique repose sur des vibrations à haute fréquence plutôt que sur une pression ou un flux d'air élevé, réduisant la consommation d'énergie de 20 à 40 % tout en maintenant les performances de pulvérisation.

Limitations par rapport aux buses traditionnelles

Applicabilité plus étroite pour les matériaux à haute viscosité : Les buses à pression traditionnelles traitent plus efficacement les fluides plus épais, tandis que les types ultrasoniques fonctionnent mieux avec des photorésists de faible à moyenne viscosité.
Coût initial plus élevé : Les buses ultrasoniques ont un investissement initial plus élevé, bien que cela soit compensé par les économies de matériaux et d'énergie à long terme en production de masse.

Les buses de pulvérisation ultrasoniques offrent plusieurs avantages par rapport aux buses de pulvérisation traditionnelles en termes d'efficacité. Voici quelques points de comparaison clés :

1. Efficacité d'atomisation : Les buses de pulvérisation ultrasoniques sont très efficaces pour atomiser les liquides en fines gouttelettes.

2. Réduction du dépassement de pulvérisation : Les buses de pulvérisation traditionnelles génèrent souvent une quantité importante de dépassement de pulvérisation, qui fait référence à la perte de liquide qui n'atteint pas la cible prévue.

3. Qualité du revêtement : Les buses de pulvérisation ultrasoniques sont particulièrement avantageuses dans les applications où un revêtement de haute qualité est requis.

4. Économies de matériaux : En raison de leur atomisation efficace et de la réduction du dépassement de pulvérisation, les buses de pulvérisation ultrasoniques peuvent aider à économiser sur les coûts des matériaux.

5. Polyvalence : Les buses de pulvérisation ultrasoniques peuvent traiter une large gamme de liquides, y compris les solutions à base d'eau, les solvants, les suspensions et les fluides visqueux.

Il convient de noter que les buses de pulvérisation traditionnelles ont leurs propres avantages dans certains scénarios, tels que les applications à haut débit ou les situations où des gouttelettes plus grosses sont souhaitées. Le choix entre les buses de pulvérisation ultrasoniques et les buses de pulvérisation traditionnelles dépend des exigences spécifiques de l'application et du résultat souhaité en termes d'efficacité, de qualité du revêtement et d'économies de matériaux.

Pouvez-vous fournir des exemples d'industries ou d'applications où les buses de pulvérisation ultrasoniques sont couramment utilisées ?

 

Système de pulvérisation ultrasonique
L'équipement de pulvérisation ultrasonique est autonettoyant, ce qui peut éviter la pollution de la paroi intérieure du tube de prélèvement sanguin pendant le processus de pulvérisation, et peut également éviter la contamination de sa propre buse, et peut être pulvérisé et utilisé en cycles. Le système de pulvérisation ultrasonique peut programmer le nombre, la distance, l'épaisseur et d'autres paramètres de pulvérisation, afin d'assurer la précision de l'effet de pulvérisation. L'équipement de pulvérisation ultrasonique permet d'économiser des matières premières, et le taux d'utilisation des matières premières atteint 85 %. Les atomiseurs ultrasoniques industriels peuvent être facilement intégrés dans les lignes de production existantes pour une pulvérisation efficace avec une qualité de sortie constante.

En tant que technologie éprouvée industriellement, la pulvérisation ultrasonique a été appliquée avec succès aux lignes de revêtement de films minces haute performance dans la fabrication d'électronique de précision telle que les semi-conducteurs, les dispositifs de précision, les applications de nanotechnologie, les piles à combustible et les cellules solaires. Lors de la pulvérisation ultrasonique, la taille et la distribution des gouttelettes peuvent être précisément contrôlées, ce qui donne des particules avec une grande surface.

Pouvez-vous fournir la vidéo de fonctionnement de la buse de pulvérisation ?